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一种高精细电子线路的制备方法

申请号：CN201410346039.9 申请公布号： CN104093280B
申请日： 2014-07-21 申请公布日： 2017-01-18
申请（专利权）人：南京科津新材料研究院有限公司 专利代理机构： 南京汇盛专利商标事务所（普通合伙）
分类号：G03F7/004；H05K3/10；G03F7/06

专利介绍

本发明公开了一种高精细电子线路的制备方法，如下所述：纳米有机银盐颗粒的制备、制备有机银盐为功能相的浆料、浆料的涂布、对浆料进行曝光、对浆料进行热显影、选择性形成高精细电子线路。该方法以纳米有机银盐为光敏剂和前驱体制备高精细电子线路，即利用有机银盐高敏度、高像质的特性，以及在热处理过程中显影形成银的性质和纳米颗粒熔点显著降低的特性，对曝光后的有机银盐进行热处理从而得到高精细的导电线路。本发明不但具备高分辨率的性能，而且工艺简单，投资少，能够实现连续化生产。

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